扫描式光刻方法 工艺应用专利技术文献-博天堂网页

　　1 步进扫描光刻机的自消除振动力的扫描狭缝装置 2 步进扫描光刻机晶片台掩模台同步控制系统 3 步进扫描光刻机控制方法与系统 4 步进扫描光刻机连续扫描同步控制方法和系统 5 步进扫描光刻机双台交换定位系统 6 步进扫描光刻机双台交换系统 7 步进扫描投影光刻机的高速同步广播总线及总线平台 8 步进扫描投影光刻机的照明系统 9 步进扫描投影光刻机同步控制器 10 步进扫描投影光刻机同步控制系统 11 步进扫描投影光刻机同步总线控制器及同步控制系统 12 步进扫描投影光刻机中的杂散光原位检测方法 13 高速数字扫描直写光刻装置 14 高速数字扫描直写光刻装置 15 光刻机及其扫描曝光方法 16 光刻机扫描曝光方法 17 光刻机扫描曝光系统及其扫描曝光方法 18 光刻机掩模的对准扫描方法及对准信号处理方法 19 光刻机在扫描工作模式下提高数字微镜阵列数据传输速度的方法 20 光刻系统中倾斜扫描显示下提高数据传输速度的方法 21 光探针扫描集成电路用光刻系统中振动刻写方法 22 光学设备、扫描方法、光刻设备和器件制造方法 23 恒定光源步进扫描实现大面积光刻方法及其光刻装置 24 基于vme总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法 25 基于光刻玻片的显微图像的全景扫描装置 26 基于可控光束剖面形状与功率分布的双扫描三维激光刻蚀加工方法 27 基于圆形掩模的步进扫描光刻机及其曝光方法 28 可用于二维扫描方式进行激光全息光刻的镜头 29 利用光栅成像扫描光刻制备大尺寸光栅的方法 30 倾斜扫描式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理方法 31 扫描式光刻方法 32 扫描式投影光刻机物镜 33 扫描探针纳米光刻系统和方法 34 双工件台扫描光刻机的vxworks嵌入式操作系统和运动控制卡间的数据交换方法 35 掩模盒和传送盒内的光刻掩模以及扫描盒内的掩模的方法 36 一种步进扫描光刻机隔振系统模拟试验装置 37 一种步进扫描投影光刻机多总线时序同步控制方法 38 一种步进扫描投影光刻机掩模台硅片台扫描运动同步误差校正系统 39 一种测量扫描光刻机中掩模台扫描倾斜的方法 40 一种超精扫描镀膜及定位光刻设备 41 一种对投影光刻机步进及扫描运动轨迹的规划方法 42 一种扫描光刻机掩模台位置测量装置 43 一种扫描光刻机掩模台位置测量装置及测量方法 44 一种扫描式无掩膜光刻机的数据处理方法 45 一种提供浸没式光刻机扫描路径的工作结构 46 一种提供浸没式光刻机扫描路径的工作结构 47 一种位置触发扫描方式的光刻机系统及方法 48 一种新型高速数字扫描直写光刻装置 49 一种新型高速数字扫描直写光刻装置 50 一种用于步进扫描光刻机的精密隔振系统 51 一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜slm曝光的数据处理方法 52 一种直写式光刻系统倾斜扫描拼接方法 53 一种直写式光刻系统中倾斜扫描显示方法 54 用于补偿照明扫描向刀口驱动反力的装置及光刻设备 55 用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置 56 用于光刻的高生产量和小占位面积扫描曝光的系统和方法 57 用于集成电路光刻系统中的线阵光源扫描装置 58 用于扫描光刻机的逐场调焦调平方法 59 用于投影扫描光刻机的对准方法及微器件制造方法 60 用于微光刻的掩模和扫描投射曝光方法 1-28.tif61 用于阵列式集成电路光刻扫描装置的线阵光源 62 在凸球面上扫描喷涂光刻胶的装置及方法 63 阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法及其装置 64 阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法及其装置 65 阵列式光学探针扫描集成电路光刻方法 66 阵列式集成电路扫描光刻用的工作台运动控制方法及系统 67 直写式光刻机扫描采用不等距触发进行图形校正的方法 68 直写式光刻设备中的高精密重载扫描台 69 直写式光刻系统中倾斜扫描的图像数据压缩方法